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產(chǎn)品概述

Auto500真空鍍膜系統(tǒng)是用于研究和預生產(chǎn)的多用途,前裝載的沉積系統(tǒng). 腔體可容納大尺寸基板,在不損失真空的環(huán)境下進行熱阻蒸發(fā),電子束蒸發(fā)以及濺射工藝. 真空選件包含擴散泵,渦輪分子泵,干泵及冷凝泵


產(chǎn)品詳細
品牌概述
HHV Ltd 成立于1960年,隸屬于印度班加羅爾HHV Pvt., 是一家歷史*悠久的薄膜和真空技術(shù)公司. 該公司擁有眾多研究所,大學院校及工業(yè)生產(chǎn)客戶。近年來,HHV Pvt成為Edwards的制造商,生產(chǎn)如Auto306, Auto500 和TF600 等現(xiàn)代薄膜沉積系統(tǒng)。.
應用領域

Auto500 用于DC和RF濺射
Auto500可被裝配為研究型濺射系統(tǒng),設備可安裝*多3個濺射源同時允許用戶選擇DC和RF電源。工藝氣體和工裝夾具可選為工藝提供了*大便利.

Auto500多工藝應用

Auto500 可適應多種應用. FL500大型腔室可容納EB3電子束蒸發(fā)源,濺射源和熱阻蒸發(fā)源,使用戶在不破壞真空的環(huán)境下運用不同的技術(shù)進行多次膜沉積. 系統(tǒng)還可提供輝光放電清洗和基板加熱以及膜厚監(jiān)測和控制.

產(chǎn)品特點

Auto500多功能沉積系統(tǒng)

Auto500是用于研究和預生產(chǎn)的多用途,前裝載的沉積系統(tǒng). 腔體可容納大尺寸基板,在不損失真空的環(huán)境下進行熱阻蒸發(fā),電子束蒸發(fā)以及濺射工藝. 真空選件包含擴散泵,渦輪分子泵,干泵及冷凝泵a.

Auto500 用于熱阻蒸發(fā)及電子束蒸發(fā)

工藝配件

  • 400mm 和500mm寬帶水冷裝置的不銹鋼腔室
  • 玻璃鐘罩式和玻璃圓筒式腔室
  • 單一或多個熱阻蒸發(fā)源, 4個熱阻源安裝塔
  • 3kW 或 6kW 電子槍
  • 固定和選擇工件夾具
  • 高溫基板加熱系統(tǒng)
  • 蒸發(fā)源和基板擋板
  • 輝光放電清洗
  • 膜厚監(jiān)測
  • 真空鎖選件
技術(shù)參數(shù)

真空系統(tǒng)
600l/s 擴散泵
500l/s 渦輪分子泵
450l/s 干泵和渦輪分子泵
1500l/s 冷凝泵
14.3m3/h 油封旋片泵和液氮冷井.

**控制

觸屏式PLC 真空系統(tǒng)控制
自動高真空工藝閥門保護
完善的**互鎖
Auto500 CE認證

Auto500真空鍍膜系統(tǒng)中國代理創(chuàng)世杰科技有限公司
 
傳真: 86-755-61536610
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