ATV真空共晶回流系統(tǒng)

產(chǎn)品概述
產(chǎn)品詳細(xì)
產(chǎn)品相關(guān)

產(chǎn)品概述

上乘的ATV真空共晶回流系統(tǒng)，帶快速退火功能的焊接回流爐(SRO)，是一個(gè)多用途“冷壁”工藝焊爐。SRO是R&D，工藝研發(fā)，由低至高產(chǎn)能生產(chǎn)的理想選擇。全自動(dòng)生產(chǎn)能力可有多種方式實(shí)現(xiàn)：與粘片機(jī)在線集成、與粘片機(jī)系統(tǒng)集成、盒對(duì)盒晶片傳送或帶機(jī)器人系統(tǒng)的襯底傳送。主要應(yīng)用于無缺陷焊接和產(chǎn)生上乘的無助焊劑焊接，如IGBT封裝、焊膏工藝、管殼蓋板封裝、MEMS及真空封裝。

產(chǎn)品詳細(xì)

ATV真空共晶回流系統(tǒng)產(chǎn)品概述

ATV公司于1972年成立于德國慕尼黑，業(yè)務(wù)專注于真空熱處理工藝設(shè)備，主要應(yīng)用在混合電路、半導(dǎo)體和表面貼裝領(lǐng)域。
上乘的焊接系統(tǒng)，帶快速退火功能的焊接回流爐(SRO)，是一個(gè)多用途“冷壁”工藝焊爐。SRO是R&D，工藝研發(fā)，由低至高產(chǎn)能生產(chǎn)的理想選擇。全自動(dòng)生產(chǎn)能力可有多種方式實(shí)現(xiàn)：與粘片機(jī)在線集成、與粘片機(jī)系統(tǒng)集成、盒對(duì)盒晶片傳送或帶機(jī)器人系統(tǒng)的襯底傳送。主要應(yīng)用于無缺陷焊接和產(chǎn)生上乘的無助焊劑焊接，如IGBT封裝、焊膏工藝、管殼蓋板封裝、MEMS及真空封裝。

ATV真空共晶回流系統(tǒng)產(chǎn)品特點(diǎn)

1. *高控溫為700℃(更高可選)滿足所有軟釬焊工藝要求
2. 快速準(zhǔn)確溫度控制
3. 可編程工藝過程控制
4. 氦氣漏率5×10^-9mbarL/s,氧氣含量可控在2ppm內(nèi)(5mbar)
5. 真空可達(dá)1×10^-5mbar(分子泵)
6. 可選腔體正壓模式
7. 多種工藝氣氛：N2、N2/H2、純H2、HCOOH(N2載氣)
8. ArH2等離子輔助工藝
9. 腔室頂蓋配有觀察窗
10.完善系統(tǒng)狀態(tài)監(jiān)控和**互鎖設(shè)計(jì)

ATV真空共晶回流系統(tǒng)技術(shù)參數(shù)

型號(hào)加熱板尺寸加熱功率
SRO-702 147×217 4kw
SRO-704 230×217 6kw
SRO-706 313×240 9kw