Temescal真空鍍膜機(jī)

產(chǎn)品概述
產(chǎn)品詳細(xì)
產(chǎn)品相關(guān)

產(chǎn)品概述

Temescal真空鍍膜機(jī)是Temescal公司明星產(chǎn)品，Temescal成立于1952年，是真空電子束蒸鍍技術(shù)的***，提供*先進(jìn)的精密鍍膜系統(tǒng)以及電子槍組件。Temescal在準(zhǔn)確控制材料蒸氣云分布方面擁有豐富的經(jīng)驗(yàn)與獨(dú)到的技術(shù)，典型材料如鈦、鉑、金、鈀、銀、鎳、鋁、鉻、銅、鉬、錫、二氧化硅、氧化銦錫，可獲得優(yōu)異的薄膜沉積均勻性和一致性。

產(chǎn)品詳細(xì)

Temescal真空鍍膜機(jī)產(chǎn)品概述

Temescal成立于1952年，是真空電子束蒸鍍技術(shù)的***，提供*先進(jìn)的精密鍍膜系統(tǒng)以及電子槍組件。Temescal在準(zhǔn)確控制材料蒸氣云分布方面擁有豐富的經(jīng)驗(yàn)與獨(dú)到的技術(shù)，典型材料如鈦、鉑、金、鈀、銀、鎳、鋁、鉻、銅、鉬、錫、二氧化硅、氧化銦錫，可獲得優(yōu)異的薄膜沉積均勻性和一致性。
Temescal總部在美國(guó)加州，擁有獨(dú)立完善的設(shè)計(jì)、制造、銷售和研發(fā)部門，其關(guān)鍵技術(shù)優(yōu)勢(shì)著重體現(xiàn)于成套沉積系統(tǒng)和電子槍組件。在高亮度LED、GaAs基無(wú)線通信芯片、光通訊器件、太陽(yáng)能光伏、微機(jī)械（MEMS）和聲表器件（SAW）等領(lǐng)域擁有很高的聲譽(yù)和眾多杰出用戶。
Temescal上乘的工藝實(shí)現(xiàn)能力包括：高均勻性多層膜系工藝設(shè)計(jì)，*先進(jìn)的大功率電子槍及控制電源，無(wú)死角操作的雙開門設(shè)計(jì)，潔凈無(wú)油真空系統(tǒng)，多種精密工件架，全自動(dòng)薄膜工藝控制系統(tǒng)，等等。

Temescal真空鍍膜機(jī)產(chǎn)品特點(diǎn)

1. 業(yè)內(nèi)獨(dú)有的真空鎖式批量蒸鍍系統(tǒng)
2. 整個(gè)電子束蒸發(fā)源可與腔室分離并轉(zhuǎn)到設(shè)備框架之外
3. 高性能電子槍和控制器
4. 所有OEM組件均來(lái)自世界**供應(yīng)商
5. 豐富的剝離(Lift-off)工藝經(jīng)驗(yàn)
6. 高均勻性和高材料利用率
7. 可靠靈活的全自動(dòng)控制系統(tǒng)
8. 設(shè)備性能完全滿足24/7的嚴(yán)格的FAB生產(chǎn)要求
9. 專業(yè)的工藝研發(fā)和技術(shù)支持

Temescal真空鍍膜機(jī)技術(shù)參數(shù)

主要型號(hào)
1. FC4400
Temescal*大型標(biāo)準(zhǔn)系統(tǒng)，真空鎖結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，適合150mm以上基片工藝的產(chǎn)能*大化要求
2. FC3800
Temescal大型標(biāo)準(zhǔn)系統(tǒng)，真空鎖結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，適合各種高產(chǎn)能應(yīng)用要求
3. FC/BCD2800
Temescal中型生產(chǎn)設(shè)備，真空鎖結(jié)構(gòu)可選，適合100mm~150mm晶圓工藝生產(chǎn)
4. FC/BJD2000
Temescal小型標(biāo)準(zhǔn)系統(tǒng)，尤其適合小規(guī)模生產(chǎn)和研發(fā)

設(shè)備產(chǎn)能

設(shè)備型號(hào): FC/BJD-2000 FC/BCD-2800 FC-3800 FC-4400
2inch 晶圓: 42 N/A N/A N/A
3inch 晶圓: 17 47 N/A N/A
100mm 晶圓: 13 25 53 55
150mm 晶圓: 5 12 25 30
200mm 晶圓: N/A 6 14 15